全反射X荧光（TXRF）分析技术是十多年前才发展起来的多元素同时分析技术，于1971年Yoneda等首先提出的，西德Rich Seifer公司于1981年首先研制成功了第一台实用的商业全反射X射线荧光分析仪，现在TXRF已成为一门成熟的通常可接受的分析技术，广泛用于痕量元素分析、微量样品分析、表面和表层分析、地质样品分析等领域。它突出的优点是检出限低（pg、ng/mL级以下）、 用样量少（μL、ng级）、准确度高（可用内标法）、操作简便、快速，而且可进行无损分析，成为一种不可替代的全新的元素分析方法。它实质上是对能量色散X射线荧光(EDXRF)分析技术的发展。利用x射线的全反射技术，使样品荧光的杂散本底比X荧光能量色散谱仪（EXRF）本底降低约四个量级，从而大大提高了能量分辨率和灵敏度，避免了XRF测量中通常遇到的本底增强或减弱效应；同时TXRF技术又继承了EXRF方法的优越性。它突出的优点是检出限低（pg、ng/mL级以下）、用样量少（μL、ng级）、准确度高、简便、快速，而且可进行无损分析，成为一种不可替代的全新的元素分析方法。与波长色散谱仪（WXRF）方法比较。由于使用内标法，对环境温度等要求很低。因而在简便性、经济性、用样量少等方面，都比WXRF方法有明显的优越性，且波长色散X射线荧光分析仪（WDXRF）除去制样复杂、本底高外，对测试环境和高压电源的稳定性要求很高，使用不方便；与质谱仪中的ICP-MS和GDMS、原子吸收谱仪中的ETAAS和FAAS以及中子活化分析NAA等方法相比较，TXRF分析仪在检出限低、定量性好、用样量少、快速、简便、经济、多元素同时分析等方面都有着综合优势。